現代工業中，很多場所對蒸汽品質的要求高。蒸汽發生器主要應用於需要清潔幹燥的潔淨蒸汽進行直接加工的工藝中，也用於高潔淨度廠房、車間的加濕等生產環境控製過程，如食品、飲料、醫藥工業、集成電子加工等工藝。

　　在某些不采用潔淨蒸汽鍋爐(蒸汽發生器廠家)的應用，潔淨蒸汽通過讓工業蒸汽流經超級潔淨蒸汽過濾裝置取得（濾芯以微米為單位），簡單方便，午夜理论福利稱之為烹飪級潔淨蒸汽，但這種方法一般不用於與最終產品的蒸汽直接噴射應用。

　　潔淨蒸汽發生器的原理是采用工業蒸汽對純水進行加熱，並通過二次蒸發產生潔淨蒸汽、控製好純水質量、使用設計製造完善的潔淨蒸汽發生器及輸送係統，從而保證進入用汽設備的蒸汽品質，滿足生產工藝的需求。

　　典型的潔淨蒸汽發生器是即熱式潔淨蒸汽發生器，其參考醫藥行業純蒸汽發生器的原理，工業蒸汽對純水加熱後，被加熱至飽和態的純水輸送至閃蒸罐進行降壓蒸發。

　　這種潔淨蒸汽發生器由於沒有蓄熱能力，潔淨蒸汽使用負載波動容易導致出口蒸汽帶水，形成二次汙染。在負載波動的應用中，潔淨蒸汽的壓力也會有較大的波動。所以，嚴格的應用中，一般不控製工業蒸汽，增大設備選型來克服這個缺點。

　　這種潔淨蒸汽發生器的運行成本較高，工業蒸汽與潔淨蒸汽的消耗比例基本上是1.4：1。即熱式潔淨蒸汽發生器的配套要求較高，純水的消耗量也較高，其適合嚴格要求的潔淨蒸汽應用。

　　另外一種潔淨蒸汽發生器是參考再沸器和工業鍋爐的原理，純水被輸送至容積式換熱器內，被加熱管內的工業蒸汽加熱，產生氣泡蒸發脫離液麵，產生潔淨蒸汽。

　　此種潔淨蒸汽發生器有較好的蓄熱能力和應對負載的調節性，但也正是由於其蓄熱能力，意味著氣泡從肮髒的爐水中脫離時，難免形成汽水共騰，導致潔淨蒸汽的汙染。